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1.工作行程: X軸: 600mmY軸:600mm,Z軸:400mm 2.機台尺寸約1400(長)x1000(寬)x1800(高) mm(含腳架高約2300mm) 3.機台重量約1200kg(含腳架) 4.機台精度: 3 L/200mm 8.機構表面處理:多層次塗裝烤漆/鋁合金部份:航太鋁合金製造 9.三軸採用英國RENISHAW0.001mm精密光學尺 10.驅勸方式:空氣軸承 11.三軸直線運動由空氣軸承導引 12.日本PISCO三點組合空氣濾清器 18.英國RENISHAW1mm.2mm.3mm測針各一支 19.重覆精度:0.003mm 20.量測精度E=3.5 (L/200)μm (ISO 10360-2) 21.校正球一個 l三軸導軌均採用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩，導軌永不受磨損。 l三軸均採用高精度歐洲進口光柵尺，系統分辦率可達0.0005mm；同時採用一端固定，一端自由伸縮的方式安，減少了光柵尺的變形。 l各運動軸均採用直流伺服驅動，確保運動的平穩和準確。 l軟件為業界標桿的RATIONALDMISCAD 功能強大，易學。 l採用英國RENISHAW控制系統及測頭系統，市場使用50%以上使用該系統量測軟體，RATIONALDMIS通過德國PTB認証，可支援SCAN功能雷射掃描(另選購硬體) 三坐标量仪,特维尼科技,三坐标量仪测头由特维尼科技提供。三坐标量仪、特维尼科技、三坐标量仪清洁是深圳市特维尼科技有限公司(www.teweini.com)2014年全新升级推出的
